论文部分内容阅读
对溅射原理进行了详细的分析,对溅射设备的结构组成进行了概括性的说明。研究了溅射腔室的传统工艺处理流程,并提出了新的工艺处理流程。实验表明,新的工艺流程更加省时省力,效果上也更好,应用于实际中,带来了一定的经济效益。
溅射设备腔室处理工艺的优化研究
【摘 要】
：
对溅射原理进行了详细的分析,对溅射设备的结构组成进行了概括性的说明。研究了溅射腔室的传统工艺处理流程,并提出了新的工艺处理流程。实验表明,新的工艺流程更加省时省力,
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第54研究所
【出 处】
：
电子与封装
【发表日期】
：
2016年4期
其他文献
Erdös-Sós猜想:如果图G平均度大于k-2,则G包含任一k个顶点的数.蜘蛛树是指最多只有一个点度超过2的树.范更华、洪艳梅和刘清海证明了该猜想对所有蜘蛛树成立.本文
俄罗斯核监管机构已同意为俄罗斯核燃料产供集团（TVEL）位于克拉斯诺亚尔斯克（Krasnoyarsk）的一座电化学厂换发许可证。该厂是俄罗斯现有的四座运行中铀浓缩厂中的一座。新许可证
目的:探索脐带延迟结扎(Delayed cord clamping,DCC)和脐带挤压(Umbilical cord milking,UCM)输血对早产儿脑血流(Cerebral blood flow,CBF)的影响,以便于我们更好的选择胎盘输血方式。方法:该试验是一项单中心、前瞻性、双盲、探索性随机对照临床试验。纳入2018年11月2日至2019年11月15日遂宁市中心医院出生胎龄30-33+6
“直播”无疑是2020年新冠疫情爆发以来最火也最重要的社会话题之一。就商业领域而言,疫情的到来骤然打乱了传统的商业模式,电商直播对于产品销售和品牌推广的重要性凸显,更成为疫情影响下拉动国内消费的一大动力,这也是笔者关注电商直播营销传播模式的最主要原因。近年来,虽然已有一些学者对电商直播的现象进行了讨论,但大多止于无数据支撑的分析或对经典理论模型的验证,对电商直播这一新兴营销传播模式的探索还不够“接
介绍目前用于智能照明系统的数字可寻址照明接口(DALI)协议,重点介绍了该协议的通信电路组成及软件设计方法。针对智能照明控制系统,提出一种采用单片机设计的DALI协议通信电
数控机床热变形产生的热误差是影响加工精度的重要因素之一,如何有效控制机床热误差是提高数控机床加工精度的关键。在参考国内外相关数控机床热误差补偿的研究基础上,设计了
【世界核新闻网站2010年11月18日报道】美国铀能源公司（Uranium Energy）位于得克萨斯州的一座地浸铀矿即Palangana铀矿已于近日正式投产，这是美国在最近5年中投产的首个新地浸项
针对基于分数阶傅里叶变换(FRFT)的多分量线性调频信号(MLFM)参数估计方法中计算量大、估算精度低等问题,本文提出了一种基于吕分布(LVD)与高分辨分数阶傅里叶变换(Zoom-FRFT
本文利用可编程计算器的坐标计算程序、坐标转换公式,可方便快速的确定线路上任意点的桩号、坐标以及任意点至线路中线的距离。