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利用XPS分析了TC4钛合金经阳极氧化处理后，表面氧化膜的成分和结构及其随深度的变化。研究表明，钛合金阳极氧化膜表面为单一的TiO2，并以晶态和非晶态的形式存在于氧化膜中。随着氧化膜厚度的增加，内部氧化越来越不充分，TiO2的含量减少，并逐渐出现Ti2O3、TiO;并且阳极氧化处理明显增厚了表面氧化膜。