【摘 要】
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光学精细平版的英文是photolithography,它的原意是照相平版,在印制电子部件时,改称为光学精细平版.它是由制作模板的技术和对实际用版以腐蚀的方法制造技术组成的,其中后者
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光学精细平版的英文是photolithography,它的原意是照相平版,在印制电子部件时,改称为光学精细平版.它是由制作模板的技术和对实际用版以腐蚀的方法制造技术组成的,其中后者被称作光学精细平版.如今这种技术已经被大印刷公司或专业印刷公司用来印制IC、LSI用的引线框架(leadframe)、彩色显像管的阴罩、光刻掩膜、印刷电路板及滤色镜等精密电子部件.
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