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本文介绍了一种平膜结构的流量芯片,阐述了其结构设计、电路设计等关键技术,同时也对该芯片制成的流量传感器进行实验验证。实际测量和使用表明：该传感器具有测量精度高、体积小、功耗低、一致性好、互换性好等特点。
平膜式流量芯片的研制
【摘 要】
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本文介绍了一种平膜结构的流量芯片,阐述了其结构设计、电路设计等关键技术,同时也对该芯片制成的流量传感器进行实验验证。实际测量和使用表明：该传感器具有测量精度高、体积
【机 构】
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中国电子科技集团公司第49研究所
【出 处】
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计量与测试技术
【发表日期】
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2009年11期
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