【摘 要】
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对Au－Si－Be液态金属离子源的发展进行了较详细的介绍，包括源的结构、发射特性，以及不同的合金配比、源工作温度、环境气体、系统真空度对源发射稳定性的影响。
The development
【机 构】
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清华大学电子工程系!北京100084,清华大学电子工程系!北京100084,清华大学电子工程系!北京100084
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对Au－Si－Be液态金属离子源的发展进行了较详细的介绍，包括源的结构、发射特性，以及不同的合金配比、源工作温度、环境气体、系统真空度对源发射稳定性的影响。
The development of Au-Si-Be liquid metal ion source is introduced in detail, including the structure and emission characteristics of the source, as well as different alloy ratios, source operating temperature, ambient gas and system vacuum to the source emission stability influences.
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