【摘 要】
：
本文提出以蓝宝石塑性磨削和化学机械抛光为主要手段,以原子力显微镜为主要检测工具,来制备满足光电子领域要求的纳米级超光滑蓝宝石晶片的新方法。在高刚性磨床上,用W 7的金
【机 构】
：
盐城工学院机械工程学院,兴化祥盛光电子材料公司
【基金项目】
：
江苏省教育厅自然科学研究计划(04KJD430213);国家高技术研究发展计划(863计划)(2002AA311010)资助
论文部分内容阅读
本文提出以蓝宝石塑性磨削和化学机械抛光为主要手段,以原子力显微镜为主要检测工具,来制备满足光电子领域要求的纳米级超光滑蓝宝石晶片的新方法。在高刚性磨床上,用W 7的金刚石砂轮以f=1μm/r进给量,实现了蓝宝石晶片的浅损伤塑性域磨削。配制了以S iO2溶胶为抛光料的蓝宝石晶片专用抛光液,稳定地获得了无损伤层的RMS小于0.2 nm的超光滑蓝宝石晶片表面。GaN外延生长所需蓝宝石晶片的合理抛光参数是:S iO2的粒子直径为7 nm、浓度为3%、pH=11、压力P=200Pa。
其他文献
在我国全面推进依法治国、加强人权保障的时代背景下,公安机关大力推行人性化执法,有利于人民群众的权益得到切实保障。但是与此同时,公安民警的执法权益却日益遭受不法侵犯,
缺血修饰白蛋白是心肌缺血发生后到发生细胞坏死之前的一个非常早期的指标,主要根据人血清白蛋白N末端与钴离子的结合力的改变而测定,心肌缺血一旦发生,就迅速升高,缺血停止
2018年4月26日,习近平总书记在武汉举行的“深入推动长江经济带发展座谈会”上指出:“推动长江经济带发展是党中央做出的重大决策,是关系国家发展全局的重大策略,对实现‘两
习近平总书记多次强调,领导干部要始终做到"对党忠诚、个人干净、敢于担当"。忠诚、干净、担当一直是我们党的优良传统。通过重温党的历史,能够领悟到老一辈革命者忠于党、忠
选取福建省1994-2014年的样本数据,运用协整检验、格兰杰检验等对福建省外贸商品结构与产业结构之间的关系进行研究,发现福建省出口商品结构与产业结构不存在格兰杰因果关系,
我国是世界上仅次于美国的主要的玉米生产国,玉米产量占粮食总产量的三分之一强。为保护种粮农民利益,国内对玉米实行临时收储政策。近年来,受宏观经济不振影响,国内外玉米呈
生物技术是一个新兴专业,利用生物技术可使一些废弃的生物材料变废为宝,但同时却产生了高浓度有机废水。设计采用厌氧与好氧组合工艺处理制氨基葡萄糖盐酸盐废水,结果表明,最
根据猪场建设规模化发展的需要,将猪栏进行模块化分解,对每个模块进行标准化设计,实现猪舍产品的模块化、标准化设计制造,从而缩短猪栏设计制造周期、提高猪舍建设效率。
振动是旋转机械主要的一种故障形式,而振动产生的原因通常来源于转子不平衡,因此在上个世纪中叶转子动平衡技术就应运而生。简单介绍了刚性和挠性动平衡理论,并着重介绍了现
采用单层钎焊CBN砂轮开展了切入式磨削CSS-42L钢的试验,测试了磨削过程中的磨削力和磨削温度,研究了磨削用量(切深和工件进给速度)对磨削力、工件表面温度和磨削比能的影响规