交流电晕放电下微水对(CF3)2CFCN/N2混合气体分解特性的影响

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全氟异丁腈(CF3)2CFCN(C4F7N)作为SF6替代气体引起了研究人员的广泛关注。为研究微水对C4F7N的分解特性的影响,本文实施了针对C4F7N/N2混合气体的针-板电极交流电晕放电实验,随后利用气相色谱质谱联用仪和扫描式电子显微镜-能量色谱仪分析了C4F7N/N2在微水条件下的分解特性。结果显示,C4F7N/N2的主要分解气体为CO2、CF4、C2F6、C3F6和C3F8等。随着微水含量的升高,CO2产量增加并逐渐趋于饱和;CF4、C2F6和(C3F6+C3F8)等氟碳气体的产量先下降后上升;分
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