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传统H面阶梯滤波器的设计都是采用相同宽边的情况下设计，本文分析了不同宽边情况下对滤波器加工精度的影响，分析结果表明对于不同频段的滤波器，需要合适的选择谐振腔的宽边才能达到较好的性能，同时本文也分析了不同谐振模式下滤波器对加工精度的影响，分析表明，对于太赫兹频段滤波器，选用TE101谐振模式长度会比波导的宽边小很多情况下，选用高阶谐振模式不但可以提高滤波器的Q值，同时也能在一定程度上降低滤波器对加工精度的要求。最后以0.34THz 4阶带通滤波器为例验证分析的正确性，测试表明该滤波器最低损耗为-0.73dB，在0.335THz～0.349THz范围内损耗在-2dB以内，这也是国内首次报道采用精密机加工艺实现的太赫兹滤波器。