【摘 要】
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利用原子力显微镜AFM进行阳极氧化纳米刻蚀加工的实质是电场作用下发生的电化学反应，外加电压是影响氧化加工的最重要的因素。在氧化加工过程中，外加电压存在着闲值。分析了电
【基金项目】
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浙江省教育厅项目（20060470）资助
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利用原子力显微镜AFM进行阳极氧化纳米刻蚀加工的实质是电场作用下发生的电化学反应，外加电压是影响氧化加工的最重要的因素。在氧化加工过程中，外加电压存在着闲值。分析了电压的大小、类型对氧化物的结构和生长速率产生的具体影响，偏压的提高可以获得较厚的氧化物，氧化速率随氧化层厚度下降，而调节电压脉冲峰值、周期、频率可以增强氧化物的生长速率，提高氧化物的纵横比。说明通过控制电压可以控制实现对氧化过程的控制，而交流脉冲电压对阳极氧化加工最为有利。
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