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提出一种基于半导体激光器泵浦Nd∶YAG微片激光器的回馈干涉系统,适合于非配合目标的位移和绝对距离测量。该测量系统包括移频回馈干涉光学系统,基于泵浦调制的微片激光器调频系统和相敏检波信号处理系统3部分。介绍了移频回馈干涉的原理,给出了位移测量和绝对距离测量应用的原理和测量方法,分析了测量的分辨率。实际测量了发黑工件表面的位移和绝对距离。实验结果表明,该回馈干涉系统灵敏度高,对被测表面反射率的要求很低,兼有对非配合目标的高分辨率位移测量和绝对距离测量的能力。