【摘 要】
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通过选择装置材料、优化结构及参数,设计制作了有效体积为11.0 m L的测氚电离室,用于工艺尾气中氚含量的测量。用质谱法标定绘制了工作曲线,工作曲线线性范围为0.013 4%~0.16
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通过选择装置材料、优化结构及参数,设计制作了有效体积为11.0 m L的测氚电离室,用于工艺尾气中氚含量的测量。用质谱法标定绘制了工作曲线,工作曲线线性范围为0.013 4%~0.168%（体积）。测试表明：装置泄漏率为5.5×10~（-7）Pa·m~3/s,密封性良好;本底电流为2.98×10-~（14）A;装置探测下限值为1.35×10~（-4）%（体积）;变异系数≤1.50%;仪器响应时间≤10 s,响应速度快,测量周期短,满足工艺样品的检测需求。
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