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<正> 一、质量流量计及传感器1.气体质量流量计及传感器(TF/TC 系)近年来,气体的质量流量测量和控制作为能用电气信号处理的轻便传感器,在半导体制造业中有了明显的发展。另一方面,在一般的领域中也开发了高压和防爆型传感器使质量流量的测量范围扩大了。这种传感器以图1所示的边界层流量计原
新型流量计
【摘 要】
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<正> 一、质量流量计及传感器1.气体质量流量计及传感器(TF/TC 系)近年来,气体的质量流量测量和控制作为能用电气信号处理的轻便传感器,在半导体制造业中有了明显的发展。另
【出 处】
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国外计量
【发表日期】
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1989年1期
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