【摘 要】
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本文提出了一种运用泽尼克(Zernike) 多项式的波前数据拟合方法- 给出了离散点上正交多项式的构造并描述了具体计算步骤- 可对待测物面低调制度点、散斑点、噪音及灰尘点区域进行波前数
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本文提出了一种运用泽尼克(Zernike) 多项式的波前数据拟合方法- 给出了离散点上正交多项式的构造并描述了具体计算步骤- 可对待测物面低调制度点、散斑点、噪音及灰尘点区域进行波前数据拟合,通过一定阈值的设定,将误差点用掩模滤除并予以拟合- 进一步提高了物体测量精度-
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