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用微细电子流进行亚微米加工时，背散射电子产生的接近效应降低了加工精度，本文给出一个电子流的能量函数及其在计算机上实现的算法，用于接近效应的补偿。
亚微米加工技术中的一个能量函数及其算法
【摘 要】
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用微细电子流进行亚微米加工时，背散射电子产生的接近效应降低了加工精度，本文给出一个电子流的能量函数及其在计算机上实现的算法，用于接近效应的补偿。
【机 构】
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山东教育学院计算机系
【出 处】
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山东电子
【发表日期】
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2000年4期
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