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1996年展望硅微电子技术发展趋势
1996年展望硅微电子技术发展趋势
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dlfb
【摘 要】
:
从硅微电子技术构图出发,在器件及其结构、工艺技术、集成电路各方面阐述了硅微电子技术在未来15年内的发展趋势,并分析了它的发展极限及未来。
【作 者】
:
许忠义
白丁
【机 构】
:
北京微电子技术研究所
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
1996年3期
【关键词】
:
硅微电子技术
发展趋势
微电子器件
结构
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从硅微电子技术构图出发,在器件及其结构、工艺技术、集成电路各方面阐述了硅微电子技术在未来15年内的发展趋势,并分析了它的发展极限及未来。
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