Effect of Fe ion implantation on tribological properties and Raman spectra characteristics of diamon

来源 :核技术：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ericshen81

【摘要】

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Fe ions in the fluence range of 2 × 1015 to 1×1017 cm -2 were implanted into diamond-like carbon (DLC) thin film of 100 nm thick, which were deposited

【作者】

：

JIAWen-Bao SUNZhuo

【机构】

：

ShanghaiUniversityofEngineeringScience,CenterforFunctionalNanomaterialsandDevices

【出处】

：

核技术：英文版

【发表日期】

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2004年2期

【关键词】

：

铁离子类金刚石碳薄膜摩擦学性质 Raman光谱特性物理气相沉积等离子体增强化学气相沉积 DLC (diamond-like carbon film)

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Fe ions in the fluence range of 2 × 1015 to 1×1017 cm -2 were implanted into diamond-like carbon (DLC) thin film of 100 nm thick, which were deposited on silicon substrate by plasma enhanced chemical vapor deposition.Effects of Fe ion implantati

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