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分析了类金刚石(DLC)膜的结构、性能及影响因素,对类金刚石膜的应用进行了阐述,并对DLC的几种制备方法,包括物理气相沉积法、化学气相沉积(CVD)和等离子体增强化学气相沉积法进行了介绍.
类金刚石膜的制备方法和性能
【摘 要】
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分析了类金刚石(DLC)膜的结构、性能及影响因素,对类金刚石膜的应用进行了阐述,并对DLC的几种制备方法,包括物理气相沉积法、化学气相沉积(CVD)和等离子体增强化学气相沉积法
【机 构】
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绍兴文理学院物理与电子信息系
【出 处】
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重庆工学院学报(自然科学版)
【发表日期】
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2009年06期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(60776004)
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