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日本Gigaphoton公司开发出了用于制造平板显示器（FPD）的极小激光退火工序用准分子激光器“GIGANEX”系列，并将其配备在日本V-Technology公司的极小激光退火装置上，供大尺寸液晶屏制造企业用于LTPS（低温多晶硅）TFT（薄膜晶体管）液晶面板制造。
Gigaphoton首次将新型准分子激光器引入FPD业界
【摘 要】
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日本Gigaphoton公司开发出了用于制造平板显示器（FPD）的极小激光退火工序用准分子激光器“GIGANEX”系列，并将其配备在日本V-Technology公司的极小激光退火装置上，供大尺寸液晶屏
【出 处】
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军民两用技术与产品
【发表日期】
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2016年13期
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