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Pd／a—Si双层膜退火后的两种新亚稳相

来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：woNO111

【摘 要】

：

近些年来,人们在Pd₈₀Si₂₀玻璃合金中发现大量的亚稳相。然而对Pd/a-Si双层膜的一些实验结果（IERS和TEM）也发现低温退火后存在少量的未知结构,本文针对这

【作 者】

：

吴学华 张庶元 吴自勤 

【机 构】

：

中科院北京物理所,中国科技大学结构分析中心,中国科技大学基础物理中心

【出 处】

：

电子显微学报

【发表日期】

：

1993年2期

【关键词】

：

金属玻璃 钯硅合金 双层膜 亚稳相 

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近些年来,人们在Pd₈₀Si₂₀玻璃合金中发现大量的亚稳相。然而对Pd/a-Si双层膜的一些实验结果（IERS和TEM）也发现低温退火后存在少量的未知结构,本文针对这个问题对Pd/a-Si双层膜低温退火进行了研究。发现在组分为含Si 34at%的退火样品（185C）中局部区域存在的两种亚稳相（NSA和NSB）,并确定了其结构。结构分析方法是利用二张不同的电子衍射图,

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