【摘 要】
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热变形是导致加速度传感器输出特性随温度变化的主要原因。在分析电容式加速度传感器工作原理的基础上,采用有限元方法对加速度传感器的热变形进行了仿真分析。仿真结果表明：
【机 构】
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中北大学,总装备部驻江津地区军代室,中国兵器工业第五九研究所.重庆400039
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热变形是导致加速度传感器输出特性随温度变化的主要原因。在分析电容式加速度传感器工作原理的基础上,采用有限元方法对加速度传感器的热变形进行了仿真分析。仿真结果表明：当传感器结构完全对称时,差分方式将结构的热变形相互抵消,传感器的输出不会发生变化;加工误差导致的结构不对称使变热形向刚度较小的一侧发展,从而使传感器的输出产生漂移。温漂试验表明,当环境温度升高40℃时,传感器的输出下降了76 mV。加工中应严格控制工艺流程,确保传感器结构对称,减小热变形。
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