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本文介绍了扭摆式隧道加速度传感器的结构、工作原理、简化的力学模型,设计了版图、工艺流程及关键工艺,并制备出样品,最后给出测试电路和结果.
扭摆式微硅隧道加速度传感器
【摘 要】
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本文介绍了扭摆式隧道加速度传感器的结构、工作原理、简化的力学模型,设计了版图、工艺流程及关键工艺,并制备出样品,最后给出测试电路和结果.
【机 构】
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东南大学微电子中心
【出 处】
：
电子器件
【发表日期】
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2001年4期
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