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期刊论文
扭摆式微硅隧道加速度传感器
扭摆式微硅隧道加速度传感器
来源 :电子器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户:RyanDay
【摘 要】
:
本文介绍了扭摆式隧道加速度传感器的结构、工作原理、简化的力学模型,设计了版图、工艺流程及关键工艺,并制备出样品,最后给出测试电路和结果.
【作 者】
:
陈德英
茅盘松
史建伟
熊涛
张旭
金肖科
【机 构】
:
东南大学微电子中心
【出 处】
:
电子器件
【发表日期】
:
2001年4期
【关键词】
:
微硅
扭摆式
隧道效应
加速度传感器
microsilicon
torsion structure
electron tunnel effect
acce
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本文介绍了扭摆式隧道加速度传感器的结构、工作原理、简化的力学模型,设计了版图、工艺流程及关键工艺,并制备出样品,最后给出测试电路和结果.
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