【摘 要】
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在普通溅射离子泵的基础上，经结构上的改进后，采用β钛合金Ｔｉ－１５Ｍｏ作为抽气元件的阴极，使泵的抽氢速率提高６０％以上，抽空气速率提高１５％左右（在５～６×１０－６托）。 Ｔｉ－１５Ｍｏ合金具有优良的抽氢效果是由于它具有均匀的Ｂ
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在普通溅射离子泵的基础上，经结构上的改进后，采用β钛合金Ｔｉ－１５Ｍｏ作为抽气元件的阴极，使泵的抽氢速率提高６０％以上，抽空气速率提高１５％左右（在５～６×１０－６托）。 Ｔｉ－１５Ｍｏ合金具有优良的抽氢效果是由于它具有均匀的Ｂ结构。β结构的钛对氢有很大的溶解度，因而使它具有很大的抽氢速率和很长的抽氢寿命。
On the basis of ordinary sputter ion pump, the structure of Ti-15Mo is adopted as the cathode of the extraction element, which improves the pumping hydrogen rate of the pump by more than 60% and the pumping air rate by about 15% In 5 ~ 6 × 10-6 Torr). Ti-15Mo alloy with excellent hydrogen abstraction is due to its uniform B structure. The β-structure titanium has a large solubility in hydrogen, thus giving it a large hydrogen evolution rate and a long pumping life.
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