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采用HF-PCVD法，在氩-氧等离子气氛中，将WCl6进行氧化反应，经骤冷制备出纳米级的WOx微晶。把WCl6进料温度为350℃时所得微晶用TEM、XRD、XPS进行了测试。结果表明：微晶呈近球形，粒径范围为15～65nm，统计平均粒径为39．0nm，微晶为WO3和WO2.90的复合混晶体。综合分析可知：WOx纳米微晶呈包裹式层状结构，晶粒内核为WO2.90，外壳为WO3。对微晶的形成机制进行了初步探讨。苯酚降解实验表明，固定化的WOx微晶薄膜具有明显的光催化活性。