电子束曝光机自动输片系统研制

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本文概略地介绍了在电了束曝光机上使用的自动输片系统的要求以及其组成部分;较详细地叙述了送取片机构(机械手)的动作过程,并对系统的控制原理及软件设计进行了说明。 This paper briefly introduces the requirements and components of the automatic transfer system used in the electric beam exposure machine. It also describes the movement process of the pick-up film mechanism (manipulator) in more detail and carries out the control principle and software design of the system The explanation.
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