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采用直接蒸发In_2O_3/SnO_2混合物法镀制了ITO膜,并研究了In/Sn重量比,蒸发温度及后处理工艺对透光性能的影响。
In／Sn配比对ITO膜透光性能的影响
【摘 要】
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采用直接蒸发In_2O_3/SnO_2混合物法镀制了ITO膜,并研究了In/Sn重量比,蒸发温度及后处理工艺对透光性能的影响。
【机 构】
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苏州大学物理系,苏州大学物理系
【出 处】
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苏州大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1994年1期
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