【摘 要】
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本文包括四部分内容:(一)描述了主入射角椭偏仪的实验理论,(二)对主入射角椭偏法的原路返回型椭偏仪进行了描述,这种椭偏仪无需补偿器(λ/4波长片),便于测椭偏谱,(三)计算了
【机 构】
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西安交通大学电子工程系,西安交通大学电子工程系,西安交通大学电子工程系
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本文包括四部分内容:(一)描述了主入射角椭偏仪的实验理论,(二)对主入射角椭偏法的原路返回型椭偏仪进行了描述,这种椭偏仪无需补偿器(λ/4波长片),便于测椭偏谱,(三)计算了硅片上各种膜的(ρp,Ψ)对(n~1,d)的理论曲线,(四)进行了φp—tgφ法与⊿—tgΨ法测薄膜的实验比较.
This paper includes four parts: (1) Describe the experimental theory of the main angle of incidence ellipsometer, (2) Describe the return path ellipsometry of the primary angle of incidence ellipsometry, which does not require compensation (Λ / 4 wave plate) for easy ellipsometry, (3) The theoretical curves of (ρp, Ψ) pairs (n ~ 1, d) for various films on silicon were calculated, Experimental Comparison between -tgφ Method and ⊿-tgΨ Method.
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