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Helios G4等离子聚焦离子束系统
Helios G4等离子聚焦离子束系统
来源 :传感器世界 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fengpose
【摘 要】
:
新型HeliosG4等离子聚焦离子束(FIB)系统,是赛默飞最新一代的双束显微镜,可对各类半导体器件进行逆向剥层处理,并提供超高分辨率扫描电子显微镜(SEM)分析。
【出 处】
:
传感器世界
【发表日期】
:
2017年7期
【关键词】
:
聚焦离子束系统
等离子
扫描电子显微镜
G4
半导体器件
超高分辨率
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新型HeliosG4等离子聚焦离子束(FIB)系统,是赛默飞最新一代的双束显微镜,可对各类半导体器件进行逆向剥层处理,并提供超高分辨率扫描电子显微镜(SEM)分析。
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