【摘 要】
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气体静压轴承以其低摩擦、高精度成功应用于高精密回转运动台,其定位精度已达到纳米级水平,达到了物理极限,因此压力腔形状对气体静压轴承的影响无法忽略。通过CFD数值模拟,
【机 构】
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中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
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气体静压轴承以其低摩擦、高精度成功应用于高精密回转运动台,其定位精度已达到纳米级水平,达到了物理极限,因此压力腔形状对气体静压轴承的影响无法忽略。通过CFD数值模拟,研究了不同压力腔形状对气体静压轴承静态性能的影响。针对矩形压力腔、圆形压力腔和锥形压力腔,研究分析了气膜内压力分布、气体质量流量和承载力等静态性能。结果表明：相同的条件下,锥形压力腔承载力较大,且压力腔内部气旋强度较弱,比较适合应用于高压重载的场合。
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