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研究了静电执行的电容式并联毫米波MEMS开关的S参数在开关过程中的瞬态变化。以一个电容式并联毫米波MEMS开关为实例，采用已有的开关一维力学动态模型，建立了开关过程中开关梁与介质层之间的间隙与时间的关系；通过HFSS电磁仿真软件，得到开关S参数在开关过程中的瞬态变化。结果显示，在开关下拉过程中（用时约9．4us），插入损耗S21先缓慢减小（从Up态稳定值-0．20dB缓慢减小到-1．02dB需时9．11us，占开关下拉时间的97％），但在下拉时间末段迅速减小；在开关释放过程中（用时约20us），S21在初