稀土───SnO<sub>2</sub>薄膜气敏特性的研究

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本文用真空镀锡膜、氧化和化学浸渍技术研制了稀土氧化物的SnO<sub>2</sub>薄膜气敏元件,并测试了薄膜的气敏特性,实验表明,元件对乙醇、丙酮蒸气的灵敏度高、线性范围宽,而对苯、丁烷、液化石油气、NH<sub>3</sub>、H<sub>2</sub>和煤气等不敏感。
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