激光探针测量层状结构的声表面波速度

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本文改进了激光探针测速系统中的测角方法,提高了测量精度.通过实测值与理论计算值比较,分析了ZnO膜/玻璃层状结构中膜层质量对速度的影响. In this paper, the method of measuring angle in laser probe velocity measuring system is improved and the measurement accuracy is improved.According to the comparison between the measured value and theoretical calculation, the influence of film quality on the speed of ZnO film / glass laminar structure is analyzed.
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