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微细加工技术在有机电致发光器件中的应用
微细加工技术在有机电致发光器件中的应用
来源 :现代显示 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yfzzx
【摘 要】
:
有机电致发光器件是近年来出现的一种新型显示技术.为了实现高分辨率及改善器件的发光性能,多种传统的及新兴的微细加工技术已被应用到该技术中,而且针对该技术还发展了阴极
【作 者】
:
刘陈
邹雪城
尹盛
【机 构】
:
华中科技大学电子科学与技术系
【出 处】
:
现代显示
【发表日期】
:
2003年5期
【关键词】
:
微细加工
有机电致发光器件
阴极隔离柱
软刻蚀
OLED
掩模
Microfabrication Technology
organic light-emitt
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有机电致发光器件是近年来出现的一种新型显示技术.为了实现高分辨率及改善器件的发光性能,多种传统的及新兴的微细加工技术已被应用到该技术中,而且针对该技术还发展了阴极隔离柱等新技术.总结了应用于有机电致发光器件的几种典型微细加工技术,并介绍了它们各自的特点及其在发光器件中的具体应用.
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