【摘 要】
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本文提出了一种基于振光检测的直线位移传感器，它具有非线性预校正的功能。介绍了检测与结构原理，并给出了原理装置的实验结果。这种新型位移传感器具有光机电结合、结构简单、
【机 构】
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浙江大学流体传动及控制国家重点实验室
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本文提出了一种基于振光检测的直线位移传感器，它具有非线性预校正的功能。介绍了检测与结构原理，并给出了原理装置的实验结果。这种新型位移传感器具有光机电结合、结构简单、非接触传感等特点，通过在变换结构中引入非线性预校正的方法，使输出电量与被测位移量在理论上呈线性关系，不仅扩大了量程，简化了电路，而且在全程范围获得了均匀的灵敏度和准确度。
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