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本文总结了当前国内外多晶硅的几种生产工艺，以及目前国内外多晶硅生产的最新研究和发展趋势。指出了目前多晶硅发展过程中所存在的问题，并结合自己的工作提出了今后多晶硅发展的新思路。
太阳能级硅制备新工艺研究进展
【摘 要】
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本文总结了当前国内外多晶硅的几种生产工艺，以及目前国内外多晶硅生产的最新研究和发展趋势。指出了目前多晶硅发展过程中所存在的问题，并结合自己的工作提出了今后多晶硅发展
【机 构】
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昆明理工大学材料与冶金工程学院,云南省有色金属真空冶金重点实验室
【出 处】
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轻金属
【发表日期】
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2006年3期
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