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根据夫朗和费单缝衍射原理 ,以激光作光源 ,采用线阵 CCD获取衍射条纹图像 ,实现同轴度误差的非接触自动测量。通过对比测量和精度分析表明该方法测量精度高 ,测量装置结构简单 ,具有实用价值
同轴度误差的非接触精密测量方法
【摘 要】
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根据夫朗和费单缝衍射原理 ,以激光作光源 ,采用线阵 CCD获取衍射条纹图像 ,实现同轴度误差的非接触自动测量。通过对比测量和精度分析表明该方法测量精度高 ,测量装置结构简
【机 构】
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辽宁工程技术大学机械工程学院,辽宁工程技术大学机械工程学院,辽宁工程技术大学机械工程学院 辽宁阜新123000,辽宁阜新123000,辽宁阜新123000
【出 处】
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测试技术学报
【发表日期】
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2003年02期
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