【摘 要】
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激光内雕机在进行激光内雕时,经常会存在激光"炸点"不均匀的情况,需要对其进行放大分析,从而更好地控制激光束的能量。根据企业激光内雕"炸点"观察需求,设计了一款长工作距变
【基金项目】
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吉林省发改委产业创新专项资金(2017C037-1)
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激光内雕机在进行激光内雕时,经常会存在激光"炸点"不均匀的情况,需要对其进行放大分析,从而更好地控制激光束的能量。根据企业激光内雕"炸点"观察需求,设计了一款长工作距变焦显微物镜。玻璃内部的"炸点"观察范围为9～32 mm,系统采用光学变焦方式,变焦范围为6～24 mm,放大倍率为4×～16×,变倍比为4倍。探测器采用了一款型号为VA-1MG2的1/2 in(1 in=2.54 cm)CCD,其像元大小为5.5μm。利用Zemax进行光学系统设计优化,在截止频率91 lp/mm处,各组态下各视场的MTF值均大于0.4,在中心视场和0.7视场处均接近衍射极限。点列图的RMS半径也均小于艾里斑半径,满足长工作距变焦显微系统的各项指标需求。
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