【摘 要】
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通过深入探索并利用硅元件独特的电气和出色的机械特性，MEMS（微电子机械系统）技术正在从根本上改变半导体行业。基于MEMS的传感器最初被广泛应用于汽车安全气囊、引擎管理和血压
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通过深入探索并利用硅元件独特的电气和出色的机械特性，MEMS（微电子机械系统）技术正在从根本上改变半导体行业。基于MEMS的传感器最初被广泛应用于汽车安全气囊、引擎管理和血压监测，而现在已普及到手机、游戏、医学、家电、计算、稳定性控制、轮胎气压检测系统和多种其它应用。各种各样的应用表明，基于MEMS的传感器是一种连接物理世界的通用接口，正在使电子产品变得更安全而且能效更高，同时实现新业务。
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