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期刊论文
IC制造中真实缺陷轮廓模型的比较
IC制造中真实缺陷轮廓模型的比较
来源 :电子科学学刊 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qiuenqiuen
【摘 要】
:
本文对现有的IC制造中真实缺陷轮廓的建模方法进行了比较,得到了一些有意义的结果,该结果为进行有效的集成电路(IC)成品率预报及故障分析提供了有益的借鉴。
【作 者】
:
姜晓鸿
郝跃
【机 构】
:
西安电子科技大学微电子研究所
【出 处】
:
电子科学学刊
【发表日期】
:
1998年2期
【关键词】
:
IC缺陷
IC故障
制造工艺
IC defect
Defect model
Fault-probability
Local equivalent circ
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本文对现有的IC制造中真实缺陷轮廓的建模方法进行了比较,得到了一些有意义的结果,该结果为进行有效的集成电路(IC)成品率预报及故障分析提供了有益的借鉴。
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