半导体级多晶硅隐性指标研究

来源 :化学工程与装备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jiangliang87
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对于半导体行业对多晶硅产品的需求而言,6寸及以下晶圆用原生多晶硅料,国内光伏行业的生产技术全面提升至极致,可初步满足下游用户需求。而8寸、12寸晶圆用原生多晶硅料,不仅对产品的显性指标要求十分苛刻、还对产品的隐性指标要求极高,这已突破光伏行业的认知。对于半导体级多晶硅的隐性指标,目前业内相关技术研究十分少见。本文将对其相关隐性指标进行探究,为本领域的技术创新抛砖引玉。
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