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文章对三氟化氮气体蚀刻剂的性能进行了分析和评估，得出的结论是NF3气体蚀刻制具有蚀刻快、蚀刻因子大、无环境污染、回收容易和成本低廉等优点j尽管还存在一些不足之处，但可以通过调整蚀刻参数加以优化，它不失为一种值得推广的覆铜板铜箔蚀刻剂。
三氟化氮——一种性能优良的覆铜板气体蚀刻剂
【摘 要】
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文章对三氟化氮气体蚀刻剂的性能进行了分析和评估，得出的结论是NF3气体蚀刻制具有蚀刻快、蚀刻因子大、无环境污染、回收容易和成本低廉等优点j尽管还存在一些不足之处，但可以
【机 构】
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广东成德电子科技股份有限公司
【出 处】
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印制电路信息
【发表日期】
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2017年7期
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