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退火条件对ZnO薄膜结构和光学性能的影响
退火条件对ZnO薄膜结构和光学性能的影响
来源 :江苏工业学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:darfehost
【摘 要】
:
采用溶胶-凝胶法在单晶硅Si(100)衬底上制备了ZnO薄膜,研究了退火温度对ZnO结构和光学性能的影响。实验发现,退火可以明显地改善ZnO薄膜的结构和光学性能。随着退火温度的升高,
【作 者】
:
范利宁
袁宁一
李金华
【机 构】
:
江苏工业学院功能材料实验室
【出 处】
:
江苏工业学院学报
【发表日期】
:
2007年2期
【关键词】
:
ZNO薄膜
溶胶-凝胶法
光学性能
退火温度
ZnO films
sol-gel method
optical properties
annealing
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采用溶胶-凝胶法在单晶硅Si(100)衬底上制备了ZnO薄膜,研究了退火温度对ZnO结构和光学性能的影响。实验发现,退火可以明显地改善ZnO薄膜的结构和光学性能。随着退火温度的升高,ZnO薄膜的晶粒增大,同时在室温下观察到明显的紫外发光现象,其紫外PL谱峰值变强,并有红移现象。
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