【摘 要】
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Teledyne Judson Technologies(TJT)公司已经成功研制高性能短波红外(Short-wavelength Infrared,SWIR) 320×256/30 μm的HgCdTe焦平面阵列(Focal Plane Arrays,FPA),目前正
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Teledyne Judson Technologies(TJT)公司已经成功研制高性能短波红外(Short-wavelength Infrared,SWIR) 320×256/30 μm的HgCdTe焦平面阵列(Focal Plane Arrays,FPA),目前正在生产这些器件.这些FPA的截止波长一般为2.5 μm或2.9 μm,可以在很宽的温度范围内工作.探测器主要使用分子束外延(Molecular Beam Epitaxy,MBE) HgCdTe材料制造,有时也使用液相外延(Liquid Phase Epitaxy,LPE)材料,两种材料都生长在CdZnTe衬底上.这些FPA采用ISC 9809 Si读出集成电路(ReadoutIntegrated Circuit,ROIC),可操作性好,暗电流低,量子效率(Quantum Efficiency,QE)高,且均匀性良好,产量高.对FPA从LN2到室温的性能进行了综合表征,并讨论了测试结果.这些FPA的可操作性一般为99.9％,峰值QE为85％.-70℃时,FPA噪声背景限制在视场(Field-of-View,FOV)100°范围内.当FOV为0°时,实验室相机电子设备受限.像元暗电流在宽温度范围内不高于Rule-07模型的值.在70℃下噪声等效辐照度(Noise Equivalent Irradiance,NEI)为2～3×109 W/cm2,并且FOV更小时可进一步减小.
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