【摘 要】
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永磁传动技术可实现“零泄漏”的绝对密封,利于这一特点,可广泛应用在真空设备中以获得高洁净度、高真空度的作业环境。本文首先阐述了永磁传动原理,针对永磁驱动技术在真空
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永磁传动技术可实现“零泄漏”的绝对密封,利于这一特点,可广泛应用在真空设备中以获得高洁净度、高真空度的作业环境。本文首先阐述了永磁传动原理,针对永磁驱动技术在真空设备动密封的应用,综述了关键技术的研究现状,介绍磁力驱动技术在真空获得设备、真空工程技术、真空机器人领域的应用,最后就真空磁力驱动动密封技术今后的研究与发展方向进行了探讨。
Permanent magnet drive technology can achieve “zero leakage ” of the absolute seal, which is conducive to this feature can be widely used in vacuum equipment to obtain high cleanliness, high degree of vacuum operating environment. In this paper, firstly, the principle of permanent magnet drive is expounded. According to the application of permanent magnet drive technology in the dynamic sealing of vacuum equipment, the research status of key technologies is reviewed. The application of magnetic drive technology in vacuum equipment, vacuum engineering and vacuum robot are introduced. Finally The research and development of vacuum magnetic drive seal technology are discussed in the future.
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