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用磨角法测量扩散结深和横向扩散比例将遇到来自两方面的误差影响；斜角的影响和结面交连的影响。斜角的影响是主要的但往往被忽视，结面交连的影响在两结十分靠近且结深较大时比较明显，对静电感应器件而言更是如此，二者匀使测量结果的误差和数据的离散性偏大。斜角的影响表现在使测得的横向扩散比例减小，甚至是成倍地减小。