光学薄膜制备中的激光测温技术

来源 :光学仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jluzoro

【摘要】

：

概述激光测温技术在光学薄膜制备中的应用及其在自动化方面的新进展 The Application of Laser Temperature Measurement Technology in Preparation of Optical Thin Film

【作者】

：

沈元华陈元杰马秀芳

【机构】

：

复旦大学物理系!上海200433,复旦大学物理系!上海200433,复旦大学物理系!上海200433

【出处】

：

光学仪器

【发表日期】

：

1999年Z1期

【关键词】

：

光学薄膜激光测温

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概述激光测温技术在光学薄膜制备中的应用及其在自动化方面的新进展 The Application of Laser Temperature Measurement Technology in Preparation of Optical Thin Film and Its New Progress in Automation

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