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一种制作亚微米线条的有效方法
一种制作亚微米线条的有效方法
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:asdfsadfsad
【摘 要】
:
本文介绍利用普通接触式曝光系统和等离子刻蚀机来制作亚微米线条。基本工艺是用深紫外线作为光源,对曝光后的光刻胶在HMDS或TMDS气氛下加热处理,然后采用氧反应离子刻蚀,结果可得到0.7微米
【作 者】
:
周如培
【机 构】
:
西安理工大学自动化工程系
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
1995年1期
【关键词】
:
曝光
干法显影
反应离子刻蚀
亚微米线条
sub-micron photolithography
dry development
RIE
silylatio
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本文介绍利用普通接触式曝光系统和等离子刻蚀机来制作亚微米线条。基本工艺是用深紫外线作为光源,对曝光后的光刻胶在HMDS或TMDS气氛下加热处理,然后采用氧反应离子刻蚀,结果可得到0.7微米的光刻胶线条,其端面完整、侧壁陡直,非常适合于大规模集成电路制造中的剥离工艺。
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