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<正>随着传感器技术和硅微机械加工技术的发展,唤起了对制造微小型麦克风、拾音器等微声压传感器的兴趣．人们将这些技术和古典的转换原理结合起来,研究了基于电压、压阻、场
硅微声压传感器
【摘 要】
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<正>随着传感器技术和硅微机械加工技术的发展,唤起了对制造微小型麦克风、拾音器等微声压传感器的兴趣．人们将这些技术和古典的转换原理结合起来,研究了基于电压、压阻、场
【机 构】
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东北传感技术研究所
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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1998年2期
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