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相比于传统的1×N对称型多模干涉(Mult—Mode Interference,MMI)分束器设计,提出了一种新型埋入式弱限制光波导分束器件.它的干涉区及输入输出波导采用倒锥形式,器件尺寸减小,且不均匀性与附加损耗也减小.以1×4的对称型MMI分束器为例,当只对干涉区采用倒锥形结构后,在TE偏振中心波长为1.55μm时,器件长度减小了500μm,均匀性增加了0.131dB,而附加损耗仅增加了0.02dB,波长响应较传统设计增加了40nm.在此基础上,又在输入输出臂上也各增加倒锥形结构后