论文部分内容阅读
研究了一种新颖的添加了表面活性剂和HF的RCA的改进工艺,并和标准RCA工艺与目前被广泛采用的稀释RCA工艺进行了比较后指出,改进工艺对金属沾污和表面颗粒的有效去除能力,使0.18mm以上的颗粒能够控制在15颗以内,金属沾污能够有效降至109原子cm-2以下(Al略高小于1010cm-2)。
对抛光片清洗技术的研究
【摘 要】
：
研究了一种新颖的添加了表面活性剂和HF的RCA的改进工艺,并和标准RCA工艺与目前被广泛采用的稀释RCA工艺进行了比较后指出,改进工艺对金属沾污和表面颗粒的有效去除能力,使0.
【机 构】
：
宁波海纳半导体有限公司
【出 处】
：
半导体技术
【发表日期】
：
2004年07期
其他文献
针对野战无线激光通信中大气衰减和光强起伏问题，分析了大气对激光通信的影响，探讨了多口径发射与大口径接收对大气影响抑制机理，在此基础上，构建了多口径发射和大口径接收试验装
载波调制方法的出现简化了双级矩阵变换器的控制,使用传统载波调制方法时在高调制区时会产生窄脉冲,且设定输入功率因数角较大时会有安全隐患。先对传统载波调制方法的窄脉冲
本文基于行为金融学和信息不对称理论,以盈余质量的视角研究投资者注意力驱动下的资产误定价的具体表现和客观根源,结果表明,注意力驱动下的投资者交易使得股价呈现高估状态;
基于支持向量机强大的非线性映射能力和模糊逻辑易于将先验的系统知识结合到模糊规则的特性,根据混沌动力系统的相空间重构理论,提出了一种混沌时间序列的模糊模型的支持向量
采用计算流体动力学分析软件FLUENT对小直径井下涡轮发电机的涡轮叶片叶型进行了流体动力学分析,得到其定转子内部的流场分布。将仿真得到的入口压力与理论计算所得的设计压
文章针对我国男性对瑜伽运动认识的误区及练习现状进行分析,总结出在男性中推广瑜伽的现实意义,鼓励更多的男性在社会的压力之下,通过瑜伽进行自我调节,提高自身综合素质。
"公务员考试热"已经引起了社会各界的广泛关注,几百乃至上千人竞争一个公务员岗位的现象屡见不鲜,但基层公务员招录却不太被广大考生重视,基层存在招不来人才、留不住人才的
随着航天技术的快速发展和实际应用的推动,微纳卫星的发展取得了很大的进步。微纳卫星以体积小、重量轻、低功耗、开发周期短、较低的成本等优势,完成复杂空间试验任务,在国
目的:研究结核杆菌H37Ra感染巨噬细胞后氮氧化物的产生及细胞因子的分泌和表达情况。方法:结核杆菌H37Ra感染RAW264.7巨噬细胞株24 h后收集上清液,用Griess法检测一氧化氮(NO
河南是明代封藩建府的重镇,先后分封十二位藩王,建藩设府十一位,众多的藩府给地方社会带来了一系列的影响。宗藩凭借“天潢贵胄”的特殊身份,蔑视法纪,危害地方,扰乱地方正常