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采用Sol—Gel工艺,在Si(100)衬底上制备了Ba1-xSrxTiO3(0.1≤x≤0.3)多晶薄膜,并用椭偏光谱仪在光子能量为2.0—5.2eV的范围内,测量了不同Sr含量x下Ba1-xSrxTiO3多晶薄膜的椭偏光谱。建立适当的拟合模型,用最优化法获得了所有样品的光学常数(折射率n和消光系数k)谱及能隙宽度Eg。比较这些结果发现:在低能区,Ba1-xSrxTiO3薄膜的折射率n随Sr含量x的增加无明显变化,但其吸收边向高能方向移动。表明Ba离子被Sr离子取代后,Ba1-xSrxTiO3薄膜的能隙